準(zhǔn)確成像, 無交叉耦合現(xiàn)象

XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動(dòng)

很低的平面偏移度，全程水平掃描時(shí)平面偏移量不超過1納米

垂直掃描器全程伸縮時(shí)，線性度優(yōu)于0.015%

優(yōu)化的水平掃描器ringing現(xiàn)象, 正向sine-scan算法

準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式

垂直掃描器，帶寬超過9kHz，探針垂直伺服響應(yīng)速度超過62mm/sec

在非接觸模式下很快的掃描速度

極低的探針磨損，能夠保證長(zhǎng)時(shí)間的高質(zhì)量掃描

極低的樣品損傷

準(zhǔn)確測(cè)量，真正的樣品形貌

采用低噪聲遲滯檢測(cè)器測(cè)量樣品形貌

極小正反測(cè)量偏離量，小于0.15%

采用散熱部件，很大地降低了系統(tǒng)熱漂移和遲滯現(xiàn)象

功能強(qiáng)大的隔音罩，艙體內(nèi)部主動(dòng)控溫用戶工作效率

開放式的設(shè)計(jì)，方便更換探針和樣品

探針預(yù)定位裝夾設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單便捷的測(cè)量激光調(diào)節(jié)過程，具有自上至下的直觀觀察系統(tǒng)

“十秒進(jìn)針”功能，探針可自動(dòng)高速完成進(jìn)針操作

24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大器，具備Q-control和彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能

技術(shù)參數(shù)

XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)

分辨率: 0.05 nm

定位檢測(cè)噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)

水平線性: < 2nm (over 40 μm scan)

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高力度掃描器

掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)

分辨率: 0.015 nm

定位檢測(cè)噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光學(xué)系統(tǒng)

可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)

視場(chǎng): 480 × 360 μm (10× objective lens)

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物鏡

10x (0.21 NA) 超長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)

20x (0.42 NA) 高分辨率長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(0.6 μm分辨率)

信號(hào)處理

ADC: 18個(gè)通道
 4 個(gè)高速 ADC 通道 (50 MSPS)
 X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs

DAC: 12 信道
 2 個(gè)高速 DAC 通道 (50 MSPS)
 X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs

*大數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

3個(gè)通道數(shù)字鎖相放大器

熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)

數(shù)碼Q控制

外部信號(hào)介入

20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口

5個(gè)TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias